MEMS傳感器是采用(yòng)微電(diàn)子和微機械加工(gōng)技(jì )術制造出來的新(xīn)型傳感器。
常見的MEMS傳感器包括加速度傳感器、壓力傳感器、微機械陀螺、慣性傳感器等多(duō)種用(yòng)途的傳感器。
MEMS傳感器是采用(yòng)微電(diàn)子和微機械加工(gōng)技(jì )術制造出來的新(xīn)型傳感器。
常見的MEMS傳感器包括加速度傳感器、壓力傳感器、微機械陀螺、慣性傳感器等多(duō)種用(yòng)途的傳感器。
性能(néng)指标
陀螺儀 | 加速計 | |||
典型值 | 最大值 | 典型值 | 最大值 | |
标準全量程 | 450°/s | - | 50m/s2 | - |
偏差重複性（1年） | 0.2°/s | 0.5°/s | 0.03m/s2 | 0.05m/s2 |
運行偏差穩定性 | 10°/h | - | 40 μg | - |
帶寬 (-3 dB) | 415 Hz | 不适用(yòng) | 375Hz | 不适用(yòng) |
G-敏感度（校準） | 0.003°/s/g | 0.015°/s/g | 不适用(yòng) | 不适用(yòng) |
非正交性 | 0.05度 | - | 0.05度 | - |
非線(xiàn)性 | 0.01% FS | - | 0.03% FS | 0.5% FS |
包括慣性測量單元（IMU）和姿态參考系統（AHRS），已廣泛應用(yòng)于車(chē)輛姿态測量、機器人控制、無人機飛控系統、導彈導引頭、通訊衛星天線(xiàn)、姿态控制、慣性導航等多(duō)個領域，部分(fēn)産(chǎn)品已能(néng)夠替代光學(xué)陀螺儀。
